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基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目
招标文件
项目名称：基础学院真空室系统🐦、真空获得系统、
真空测量系统等采购项目
招标方8️⃣：杏悦2平台资保处
2012年4月11日
招标文件
招标项目名称：基础学院真空室系统😧、真空获得系统🕛、真空测量系统等采购项目
发标时间：2012年4月11日星期三
一🧳、 投标邀请
招标方式🚅：
受用户委托和对采购项目的要求🌓🙊，本职能处室对基础学院真空室系统、真空获得系统、真空测量系统等采购项目进行公开招标🛌🏿🫃🏽。具体技术参数见附件。
兹邀请合格投标人以密封标书的形式前来投标，标书一式二份，用单独的信封密封，并在信封上标明投标单位及投标项目名称，为确保标书的时效性和可行性👩🏻🦲，以专人送达为宜。
1． 投标地点：杏悦2平台资保处物资供应杏悦2（行政楼B113室）
2． 投标截止时间✌🏼：2012年4月17日16🥮：30，逾期收到或不符合规定的投标文件不予接受🤏🏼。
3． 开标时间和地点🧘🏼：2012年4月18日🖕🏽，采取公开开👼🦅、评标，地点👨🏼⚕️：校资保处。
4． 开、评标结果由资保处具体人员通知投标单位。
5． 凡需对本次招标提出咨询的供应商，请在2012年4月17日前与资保处物资供应杏悦2联系。
6． 本招标方地址：上海市龙腾路333号 邮编：201620
7． 联系人：高 丹 电话：67791017
具体参数如下🕢👨🏼⚖️：
一 🫱🏿🙋🏼、真空室系统 1套
圆筒型真空室尺寸Ф450mm x350mm，电动上掀盖结构，可内烘烤100～150℃🚌，选用优质不锈钢材料制造🤞🧑🧑🧒，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封🪕；
真空室组件上焊有各种规格的法兰接口如下：
1.1 🧎♂️➡️、RF100法兰接口：1个（观察窗口）💋；
1.2 、RF63法兰接口💇🏽♀️：1个（观察窗口）🕺🏽🧑🧒；
1.3 😝、RF10法兰接口⏲🔉：3个（2路进气管路、放气阀）；
1.4 、CF150法兰接口：1个（接分子泵）；
1.5 、CF100法兰接口👩✈️：3个（磁控溅射靶接口）
1.6 🫴🏽、CF35法兰接口：6个(接电离规管、旁抽口☂️、陶封引线2个👻、备用2个)；
1.7 🎧、CF25法兰接口🥀：1个（基片挡板）🪗；
1.8 、CF16法兰接口：1个（备用）🚉；
1.9 、ZC16法兰接口🛢：1个(接ZC16热偶规管)；
2 、磁控溅射靶组件 3套
2.1 🧑🏼🏫、靶材尺寸：Φ60mm（其中一个可以溅射磁性材料）；
2.2 、永磁靶：射频溅射与直流溅射兼容，靶内有水冷👨🏼🍼👨👩👧👦；
2.3 🧚♀️🅱️、电动控制挡板组件🚶🏻♀️➡️：1套；
2.4 👨🏽⚖️、靶配有屏蔽罩，以避免靶材之间的交叉污染(非共溅时安装使用)；
2.5 、三个靶可共同折向上面的样品杏悦2，靶与样品距离90～110mm可调👮♂️；当直接向上溅射时😾，靶与样品距离40～80mm可调，并有调位距离指示。
3 🗺🧙🏻、单基片水冷加热台组件 1套
3.1 、基片尺寸：可放置30mm基片🐦；
3.2 、基片加热最高温度 800°C±1°C𓀊🆒，由热电偶闭环反馈控制🤽🏼♂️；
3.3 ♛、取下加热炉可以换上水冷基片台；
3.4 👩🏽🌾🎒、基片可连续回转，转速5～10转/分🔠；
3.5 、基片可以加负偏压-200V👩🌾；
3.6 、手动控制样品挡板组件：1套🧛🏽♀️；
3.7 💣、样品托🫱🏻：2个😈🥈；
4 👃🏼、窗口及法兰接口部件 1套
4.1、RF100玻璃窗口：1块；RF63玻璃窗口：1块🧑🏻；
4.2、CF35陶瓷封接引线法兰：2个（照明及内烘烤引线）；
4.3、盲法兰CF16🧖🏻：1个；CF35🛫：2个👩👩👧👦；
5 🦩、工作气路 1套
5.1 、200SCCM、100SCCM质量流量控制器（北京）、DG16角阀、进气截止阀、混气室、管路🧓🏻、接头等⛹🏼♂️：共3路
5.2 𓀃、DG16角阀👩👧👦、管路🧒🏽、接头等：1路（解除真空冲氮气）；
二、真空获得系统 1套
极限真空度：≤6.67x10-5 Pa (经烘烤除气后)；
系统真空检漏漏率👩🎤：≤5.0x10-7 Pa.l/S🪢；
系统从大气开始抽气，40分钟可达到6.6x10-4 Pa；
停泵关机12小时后真空度🫧：≤5 Pa；
1.1 、复合分子泵及变频控制电源：1台（抽速600升/秒，北京）；
1.2 👬、直联机械泵➗：1台（抽速8升/秒🦿，上海）🔠；
1.3 𓀈、KF40电磁隔断放气阀：1台（上海）；
1.4 、分子泵与机械泵软联接金属软管：1套 🤼♂️🍿；
1.5 、机械泵与真空室之间的旁抽管路🏊🏼、电磁截止阀及角阀门：1套 ；
1.6 、CF150-B闸板阀：1台（用于分子泵与真空室隔离）🤾🏽♂️🚣🏻♂️；
2、安装机台架组件 1套
优质方钢型材（50mmX50mmX4mm）焊接成4️⃣，快卸围板表面喷塑处理；机台表面用不锈钢蒙皮装饰；四只脚轮，可固定🚟🧑🏽🏭，可移动；
三🧝🏻、电器控制软硬件系统 1套
1.1 🧝🏻♂️、电源机柜：1台🏌️♀️💆🏻♀️；
1.2 、总控制电源：1台（为分子泵🩶、机械泵🧑🏼💼、电磁阀、升降电机🐆、真空计等提供电源💟， 有断电保护功能）👨🏿💼；
1.3 👳🏼♂️🛌🏼、水流报警系统：1套（对分子泵、磁控靶有断水报警切断相应电源功能）🍻；
1.4 、样品加热控温电源📉：1套（日本产控温表，可实现程序控温）；
1.5 🤒、步进电机旋转电源：1套；
1.6 ♡🏣、靶挡板电源：3套；
1.7 、加热烘烤及照明电源🤦🏼♂️：1套🏔；
1.8 👸🏽、分子泵控制电源🦣：1套；
1.9👩🏿🔬🦻🏻、500W射频电源：1套；（沈阳）
1.10、500W直流电源🦨：2套；
1.11、-200V直流偏压电源：1套🍓；
2、配件 1套
2.1 、￠6mm不锈钢管：6m；
2.2 🏊🏼♂️、电动升降装置：1套；
3🛩、备件 1套
3.1 🌍、无氧铜密封垫圈及管路
CF16：3个✯；CF35：3个； CF100：2个🧔🏼♀️；CF150：2个🐆；
￠6mm卡套：4套🫸🏻；
3.2 、氟橡胶密封圈：￠100mm：1个🏊♂️；￠63mm：1个、动密封胶圈3个🧏🏻♂️；
3.3 🏂🏽、碘钨灯：5个；
3.4 🚙、样品加热丝🕍：1套🧑🏿🚀👩🏻🏭；
3.5 、￠100mm玻璃：1块；￠63mm玻璃🏌🏽♂️💉：1块；
3.6 、小型不锈钢标件：M3、M4各3个；
3.7 、电器相关的保险丝：各10个👀。
4🤳🏻、计算机控制系统 1套
由硬件卡、软件组成（计算机用户自备）📳🧑🏻🚀；
控制的内容主要有靶挡板、样品自转、样品挡板、样品控温等👸🏻；
5、工艺
表面化学抛光，喷砂处理。
四、真空测量系统 1套
1.1 ⛓️💥➰、宽量程数显真空计（成都）🐜：1套；
热偶规：1路（1.0x105Pa～1.0x10-1Pa）；
电离规🧃⚄：1路（1.0x10-1Pa～1.0x10-5Pa）；
1.2 、200SCCM、100SCCM质量流量显示器🙎🏼♀️：1套🤲🏻；